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（3）粘合剂：脱水。一般用120-140oC常压烘烤2小时左右，烘烤温度视分子量的大小决定。 a）将LiCoO2Super-P倒入料桶，同时加入磨球（干料：磨球=1:1），在滚...

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该专利详细阐述了一种针对含硅有机介电层的高效刻蚀方法及相应的半导体工艺设备。它主要涉及到通过交替运用至少两个刻蚀步骤来刻蚀含硅有机介电层...

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